![]() 対象の距離及び向きの測定
专利摘要:
対象(256)と光源(230)との間の距離を測定し、対象の向きを検知する方法は、複数の光源(230及び240、又は810)からの光を対象に当てる段階と、対象からの反射エネルギレベル(270)を検出する段階と、対象からの反射エネルギレベルを測定する段階と、距離較正関数を計算する段階と、距離較正関数内の最小値(302)及び最大値(304)によって示される少なくとも1つの測定範囲(301)を決定する段階と、変調関数の周期内の所定時間スロットでサンプリングされるエネルギレベル関係を示す角度較正関数を計算する段階と、発光時間中に複数の光源から対象に加えられる全エネルギが光放射設定関数によって表されるように、変調関数(435,445)により複数の光源の夫々を変調する段階とを有する。 公开号:JP2011516857A 申请号:JP2011502931 申请日:2009-03-17 公开日:2011-05-26 发明作者:ブルカトフスキー,ヴィタリー 申请人:イーストマン コダック カンパニー; IPC主号:G01S17-08
专利说明:
[0001] 本発明は、表面の距離及び向き(orientation)の非接触測定、より具体的には、光ファイバ変位センサによる測定のための方法及び光センサに関する。] 背景技術 [0002] 非接触の距離測定が産業において幅広く用いられている。特定のアプリケーション必要性に依存して、様々な技術が開発されている。例えば、レーザ三角測量、共焦点(confocal)、ファイバを用いたもの、干渉計及びクロマティック(chromatic)等の技術が距離又は変位測定の分野で一般的であり、光学的方法を用いることによって実施されている。夫々の技術は、特定のアプリケーション要件に合うよう選択される。例えば、幾つかのコンピュータ・トュー・プレート(computer-to-plate(CTP))画像形成装置は、画像形成ヘッドの焦点を合わせるためにレーザ三角測量の原理を用いる。このような検知装置の欠点の1つは、比較的高いコスト及びフォームファクタ面であり、これらは、根本の画像形成ヘッド設計に制約を課す。] [0003] 小さなセンサ寸法を可能にする非接触変位測定に係る他の方法は、米国特許第7,071,460号明細書(Rush)(特許文献1)、米国特許第4,739,161号明細書(Moriyama等)(特許文献2)、米国特許第5,017,772号明細書(Hafle)(特許文献3)及び米国特許第4,801,799号明細書(Tromborg等)(特許文献4)に開示されている。これらの特許文献1乃至4は全て、媒体までの距離を測定するために2又はそれ以上の光ファイバを用いる。特許文献1乃至4は夫々、センサに対して予め定められている媒体の向きに基づく。媒体の向きが予め定められていない用途(例えば、CTPヘッド較正)に関して、このような仮定は有効ではなく、任意に方向付けされた媒体までの距離を正確に測定することは不可能である。] [0004] 図1Aは、特許文献4に従うセンサの機能性を示し、媒体はセンサ光軸に対して90度角で方向付けられている。図1Bは、90度以外の他の角度で方向付けられている媒体130を示す。いずれの場合にも、媒体130と光ファイバ110の出口との間の距離は同じである。] 図1A 図1B [0005] 図1Aから明らかなように、光源100からファイバ110及びレンズ120を通ってやって来る光は、ファイバの光放射軸に対して垂直に方向付けられている媒体130によって反射され、レンズ120及びファイバ140を通って光センサ回路150に戻る。この場合に、光センサ150によって検出される反射光エネルギの量は、媒体とファイバ出口との間の距離の関数である(特許文献4の図4を参照されたし。)。] 図1A [0006] 図1Bは、媒体130が傾けられている場合のセンサ機能性を示す。この場合に、光センサ150は、より少ない量の反射光エネルギを受けるか、又は全く反射光エネルギを受けない。図1Bから明らかなように、たとえ媒体130とファイバ出口との間の距離が変化しなくとも、媒体130の方位角(orientation angle)の僅かの変化でさえ、光センサ150の出力信号の偏差をもたらすことがある。言い換えると、媒体130の方位角は、光センサ150の出力信号を有意に変化させて、測定エラーを増大させ又は測定を不可能にすることがある。] 図1B [0007] ヘッドと媒体との間の距離の測定に係るアプリケーションで、表面の向き若しくは形状、又はヘッド−スリーブ(head to sleeve)間距離測定は、しばしば変化する。このような場合に、媒体の向き又は形状の変化により引き起こされるファイバセンサエラーは、測定センサの重大な欠点となる。更に、画像形成ヘッドのアラインメント偏差又はスリーブ若しくはドラム偏心の変化も、媒体−センサ間(media-to-sensor)距離測定に影響を及ぼす。] 先行技術 [0008] 米国特許第7,071,460号明細書 米国特許第4,739,161号明細書 米国特許第5,017,772号明細書 米国特許第4,801,799号明細書] 発明が解決しようとする課題 [0009] 本発明は、平坦な又は非平坦の形状の表面とセンサ軸との間の角度範囲内に位置付けられている表面とセンサとの間の測定を提供可能な新しく且つ改善された光ファイバ変位センサ装置を提供することを目的とする。] 課題を解決するための手段 [0010] 簡潔に、本発明の一側面に従って、対象と光源との間の距離を測定し、前記対象の向きを検知する方法は、複数の光源からの光を前記対象に当てる段階と、前記対象からの反射エネルギレベルを検出する段階と、前記対象からの前記反射エネルギレベルを測定する段階と、前記対象と前記光源との間の距離との関係を示す距離較正関数を計算する段階と、前記距離較正関数内の最小値及び最大値によって示される少なくとも1つの測定範囲を決定する段階と、変調関数の周期内の所定時間スロットでサンプリングされるエネルギレベル関係を示す角度較正関数を計算する段階と、発光時間中に前記複数の光源から前記対象に加えられる全エネルギが光放射設定関数(light emission predetermined function)によって表されるように、前記変調関数により前記複数の光源の夫々を変調する段階とを有する。] [0011] 変調周期T内で定期的に測定される光センサ応答信号は、媒体とファイバとの間の距離の関数であり、本発明は、媒体が光ファイバセンサの光放射軸に対して90度以外の角度で方向付けられている場合でさえ、又は媒体が非平坦形状を有する場合でさえ、媒体とセンサとの間の距離の測定を提供する。距離は、変調周期の一定の所定時点で測定される光センサ応答によって決定され、一方、角度方向及び値は、信号の位相及び振幅によって決定される。] [0012] 媒体が光放射軸に対して垂直に方向付けられている場合に、放射光測定の和は、媒体とファイバとの間の距離の関数である光センサ応答が変調されているか否かに関わらず、一定のままである。媒体が光放射軸に対して垂直でないよう位置付けられ、又は非平坦形状を有する場合に、測定される光センサ出力信号は変調されており、この信号の位相及び振幅は、夫々、偏角の値及び方向を指す。本発明の他の利点は、以下の記載及び図面から明らかになるであろう。] 図面の簡単な説明 [0013] センサ機能性を表す先行技術の概略図である。 センサ機能性を表す先行技術の概略図である。 本発明のセンサ機能性を表す概略図である。 本発明のセンサ機能性を表す概略図である。 本発明のセンサ機能性を表す概略図である。 媒体−ファイバ間距離応答較正関数を表す概略図である。 様々なタイプの変調を表すタイミング図である。 様々なタイプの変調を表すタイミング図である。 様々なタイプの変調を表すタイミング図である。 媒体が光放射軸に対して垂直に方向付けられている場合の光センサの応答を表す図である。 媒体の向きが光放射軸に対して垂直でない場合の光センサ応答を表す図である。 媒体の向きが光放射軸に対して垂直でない場合の光センサ応答を表す図である。 媒体の向きが光放射軸に対して垂直でない場合の光センサ応答を表す図である。 媒体の向きが光放射軸に対して垂直でない場合の光センサ応答を表す図である。 複数の光源を備えるセンサを表す概略図である。] 実施例 [0014] 図2A〜2Cは、本発明に従う光ファイバ変位装置(全体として、参照符号10により表される。)の配置図である。光ファイバ変位装置10は信号発生器205を有する。信号発生器205は、光源230及び光源240の光変調を提供するための制御信号215及び220を生成する。光ファイバ235及び245は、夫々、光源230及び240からの光を導く。レンズ250は光ファイバ235及び245からやって来る光ビームの焦点を媒体256に合わせ、光センサ270は、レンズ250及び光ファイバ260を通ってやって来る媒体256による反射光を測定する。光センサ270を通った反射光は、取得回路210によって取得されて、解析される。センサ構成は、2よりも多い光ファイバと、単一の光センサ270とを有する。] 図2A 図2B 図2C [0015] 信号発生器205は、光源230及び240に対して、夫々、制御信号215及び220を発する。例えば、光源はレーザダイオードを利用することができる。制御信号は、光源ごとに放射されたエネルギをシミュレートする電流を伝える。光源特性の線形範囲に関連した放射光エネルギは、光源電流に比例する。要するに、各光源からの放射光は、夫々の光源電流変調関数に従って変化する。] [0016] 光源230の光エネルギE1は、図4Aで関数445(破線)によって表されるようにパルス変調される。光源240の光エネルギE2は、同じ振幅及び同じ50%のデューティサイクルの同様のパルスによって変調されるが、図4Aで関数435によって示されるように1パルスの長さ(半周期)だけシフトされる。] 図4A [0017] 夫々の変調期間に光源230及び240の両方から放射される全光エネルギEΣは、以下のように表すことができる。] [0018] そして、光放射エネルギは、夫々、次のようになる。] [0019] 式(2)は、上記の変調信号が、媒体の表面に達する場合に一定(“const”)の光電力を与えることを示す。] [0020] 図2Aに表されているように媒体256が光放射軸に対して垂直に方向付けられている場合に、光源230及び光源240の夫々から発せられた、レンズ250及び光ファイバ260を通って光センサ270に戻る夫々の反射光は、システム対称性により等しい。各レーザビームの反射角及び電力損失は等しく、センサ270によって得られる全反射光電力も一定のままである。これは、以下の式(3)で表される。] 図2A [0021] ここで、kは反射係数を表す。言い換えると、各光源電力が変調されるという事実に関わらず、センサ270によって測定される反射電力は、上記の光源変調の間、一定値を示す。] [0022] 産業界でよく知られているように、光源から発せられて光ファイバを通り、垂直に方向付けられている媒体により反射され、他の光ファイバを通って光センサに戻される一定の電力は、媒体と光源との間の距離の関数である。このような関数のグラフ表示は図3に示されている。図3では、例えば、光センサ応答は電圧信号Vによって導入され、媒体までの距離はXによって導入される。実際に、V=f(X)特性の線形範囲301が使用されるべきである。一例として、3点、すなわち、点a302、点b303及び点c304が線形範囲301に関係している。明らかなように、距離Xa、Xb及びXcは夫々のセンサ応答Va、Vb及びVcによって表され、Xa及びXcは、夫々、線形範囲301内で検知可能な最小距離及び最大距離である。] 図3 [0023] 図5は、全放射電力が一定であり且つ媒体が光放射軸254に対して垂直に方向付けられている(図2A)場合に、距離Xa、Xb及びXcに関連する信号Vに対する光センサ270の応答についてのタイミング図を示す。実線510は、媒体が距離測定範囲の中間Xbに位置付けられている場合の光センサ応答時間依存Vbを示す。点線520及び破線530は、夫々、媒体がXa及びXcに位置付けられている場合の光センサ270の応答Va及びVcを示す。明らかなように、如何なる時点tnについても、媒体と光ファイバセンサとの間の距離は、その時点tnで測定される光センサ270の応答信号によって決定され得る。] 図2A 図5 [0024] 媒体256が、図2B及び図2Cで表されているように、垂直軸255に対して角度θで方向付けられている場合、媒体256からの反射光は同じ角度θだけ反射の方向が変化する(破線)。図2Bは、正方向(+θ)での媒体偏位を示し、図2Cは、負方向(−θ)での媒体偏位を示す。媒体表面の向きが傾けられると、光源230及び光源240の夫々から発せられて光センサ270によって受け取られる夫々の反射光の不均衡を引き起こす。図2Bに示されるように、光源230から発せられて光センサ270へと反射される光は、光源240から発せられて光センサ270へと反射される光よりも多い。結果として、光源230から発せられた光の反射は、光源240から発せられた光の反射よりも光センサ270に作用し、制御信号215の周波数及び位相により変調される光センサ応答信号を生じさせる。] 図2B 図2C [0025] 図6A及び6Bは、光制御信号215及び220が図4Aによって記載及び図示されるように変調され、一方、媒体256が(+θ)の角度だけ垂直位置255から傾けられる場合の光センサ270の応答の挙動を示す。取得回路210は、変調周波数と同調して光センサ270の出力信号を測定する。媒体が図2Bに従って方向付けられ、距離Xbの範囲内に整列される場合に、測定は、実線510によって図6A及び6Bに表されるように、t1,t2,...tnによって表される指定された時間スロットとして実行される。] 図2B 図4A 図6A [0026] 時間スロットt1,...t2n+1(奇数スロット)で読み出される測定は、光源230からの反射の測定に関し、一方、時間スロットt2,...t2n(偶数スロット)で読み出される測定は、光源240からの反射の測定に関し、夫々、光センサ270に入る光の不均衡な反射部分に起因して、異なった読出を示す。] [0027] 媒体が位置Xaにシフトされる(同じ角度を有して動かされる)場合、媒体の偏角+θは変更されないという事実のために、光源230から光センサ270に入る光のうち、媒体により反射された光は、依然として、光源240からの反射光に対して優位である。しかし、位置Xaは光ファイバセンサ202に近いので、いずれの反射部分も比例的に増大し、光センサ270の応答はより高くなる(点線520)。他方、媒体が位置Xcにシフトされている間に測定される光センサ270の応答(破線530)は、中間範囲Xbで測定されるもの(実線510)よりも低い。] [0028] 図2Cに示されるように媒体の偏角が(−θ)である場合、光源240から発せられて光センサ270へと反射された反射光は、光源230から発せられて光センサ270へと反射された反射光よりも多くなる。結果として、光源240からの光の反射は、光源230からの光の反射よりも光センサ270に作用する。このようにして、光センサ270は、制御信号220の周波数及び位相により変調されるより高い信号部分を受け取る。図6Bの実線510は、媒体が光ファイバセンサ202から中間範囲Xbの距離で位置付けられる場合に、角度(−θ)だけ傾けられて測定される光センサ応答を示す。示されるように、+θから−θまでの角度方向の変化は、応答信号の位相変化をもたらす(媒体が偏角+θにある間、奇数時間スロットは偶数時間スロットよりも大きく、一方、媒体が偏角−θにある間、奇数時間スロットは偶数時間スロットよりも小さい。)。] 図2C 図6B [0029] 上述されるように、位置Xa及びXcについての−θによる媒体の傾けは、中間範囲距離応答曲線(図6bの実線510)に対する応答曲線の上昇(図6Bの点線520)又は下降(図6Bの破線530)を生じさせる。これは、光センサ270の同じ同期時間スロット測定が、媒体の傾きにかかわらず、距離決定のために使用されてよいことを意味する。加えて、奇数及び偶数時間スロット測定の間の差又はそれらの相対関係は、偏角の値を決定する。] 図6B [0030] 図4Aは、変調信号の他の変調を示す。図4Bには三角変調(triangular modulation)が表されており、図4Cには曲線変調(curved modulation)が表されている。実線435は光源230の変調に関し、破線445は光源240の変調に関する。図4A〜4Cに表されている全ての変調信号の共通の特徴は、以下の数式によって表すことができる。] 図4A 図4B 図4C [0031] ここで、iは特定の光源のインデックスを表し、nは光源の総数を表す。パラメータωは、変調関数が周期的であることを示す角周波数である。] [0032] 図7A及び7Bは、+θの角度だけ傾けられた媒体が位置Xa、Xb及びXcに位置付けられ、且つ、光源制御信号215及び220が図4B及び図4Cの変調方式に従って生成される場合に測定される光センサ270の応答曲線を示す。このような変調方式のいずれもが式(4)により満足される。] 図4B 図4C 図7A [0033] 図8は、本発明の他のセンサ実施形態の正面図を示す。この実施形態は、変調に使用される2よりも多いファイバを表す。この例は、夫々光源からの光を導き且つ3つの面で光を発する3つの光ファイバ対810、820及び830を記載する。加えて、単一の光ファイバ840は、光センサ270へ反射光の媒体反射を導くよう構成される。信号発生器は、光源の夫々に制御信号を適用して、対810、820及び830の各ファイバに光変調を与える。同時に、制御信号は、全ての光ファイバ対からの全発光エネルギが一定であるような変調を提供する。式4を参照する。この場合に、取得回路は、上述されるように各対を測定して、媒体の距離及び角度を提供する。媒体の向きは、最終的に、夫々の面測定の重ね合わせによって確定される。] 図8 [0034] 10光ファイバ変位装置 100光源 110ファイバ 120レンズ 130媒体(対象) 140 ファイバ 150光センサ 202光ファイバセンサ 205信号発生器 210取得回路 215制御信号 220 制御信号 230 光源 235 光ファイバ 240 光源 245 光ファイバ 250 レンズ 254光放射軸 255垂直軸 256 媒体(対象) 260 光ファイバ 270 光センサ 301線形範囲 302 点a(線形範囲の最小点) 303 点b(線形範囲内) 304 点c(線形範囲の最大点) 435 第2光源についての変調関数 445 第1光源についての変調関数 510中間距離点についての光応答 520最大距離点についての光応答 530最小距離点についての光応答 810光ファイバ対 820 光ファイバ対 830 光ファイバ対 840 単一光ファイバ]
权利要求:
請求項1 対象と光源との間の距離を測定し、前記対象の向きを検知する方法であって、複数の光源からの光を前記対象に当てる段階と、前記対象からの反射エネルギレベルを検出する段階と、前記対象からの前記反射エネルギレベルを測定する段階と、前記対象と前記光源との間の距離との関係を示す距離較正関数を計算する段階と、前記距離較正関数内の最小値及び最大値によって示される少なくとも1つの測定範囲を決定する段階と、変調関数の周期内の所定時間スロットでサンプリングされるエネルギレベル関係を示す角度較正関数を計算する段階と、発光時間中に前記複数の光源から前記対象に加えられる全エネルギが光放射設定関数によって表されるように、前記変調関数により前記複数の光源の夫々を変調する段階とを有する方法。 請求項2 前記対象の輪郭が計算される、請求項1に記載の方法。 請求項3 前記変調関数の周期の第1部分の間、前記反射エネルギレベルの第1測定を取る段階と、前記変調関数の周期の第2部分の間、前記反射エネルギレベルの第2測定を取る段階と、前記第1測定が前記第2測定に等しい場合、前記対象が光放射軸に対して垂直に位置付けられ、前記対象と前記光源との間の前記距離が前記距離較正関数により前記第1測定又は前記第2測定から導出される段階とを更に有する、請求項1に記載の方法。 請求項4 前記変調関数の周期の第1部分の間、前記反射エネルギレベルの第1測定を取る段階と、前記変調関数の周期の第2部分の間、前記反射エネルギレベルの第2測定を取る段階と、前記第1測定が前記第2測定よりも大きい場合、前記対象の方位角は光放射軸に対して90度よりも大きく、前記対象と前記光源との間の前記距離が前記距離較正関数により前記第1測定及び前記第2測定の平均から導出され、前記方位角が前記角度較正関数から導出される段階とを更に有する、請求項1に記載の方法。 請求項5 前記変調関数の周期の第1部分の間、前記反射エネルギレベルの第1測定を取る段階と、前記変調関数の周期の第2部分の間、前記反射エネルギレベルの第2測定を取る段階と、前記第1測定が前記第2測定よりも小さい場合、前記対象の方位角は光放射軸に対して90度よりも小さく、前記対象と前記光源との間の前記距離が前記距離較正関数により前記第1測定及び前記第2測定の平均から導出され、前記方位角が前記角度較正関数から導出される段階とを更に有する、請求項1に記載の方法。 請求項6 前記光放射設定関数は一定値によって表される、請求項1に記載の方法。 請求項7 前記光放射設定関数は周期関数である、請求項1に記載の方法。 請求項8 前記周期関数はパルス変調される、請求項7に記載の方法。 請求項9 前記周期関数は三角関数である、請求項7に記載の方法。 請求項10 前記周期関数はスクエアサイン関数である、請求項7に記載の方法。 請求項11 前記光源はレーザ光源である、請求項1に記載の方法。 請求項12 前記光源はレーザ発光ダイオード源である、請求項1に記載の方法。 請求項13 前記変調関数の前記第1部分周期及び前記第2部分周期の和は前記変調関数の周期に等しい、請求項3に記載の方法。 請求項14 前記変調関数の前記第1部分周期は前記変調関数の前記第2部分周期に等しい、請求項3に記載の方法。 請求項15 前記測定範囲は線形である、請求項1に記載の方法。
类似技术:
公开号 | 公开日 | 专利标题 EP1405037B1|2011-07-06|Vorrichtung zur optischen distanzmessung über einen grossen messbereich JP6315957B2|2018-04-25|位置測定装置 JP3307730B2|2002-07-24|光学測定装置 CN101238348B|2010-11-10|表面的测量装置和方法 JP5752040B2|2015-07-22|対チャープfmcwコヒーレントレーザレーダー用の小型の光ファイバ配置 Perrone et al.2008|A low-cost optical sensor for noncontact vibration measurements JP5931225B2|2016-06-08|干渉計を用いて距離変化を算定するための方法 US7990522B2|2011-08-02|Dynamic compensation of chromatic point sensor intensity profile data selection CN100354599C|2007-12-12|共光程频率扫描干涉仪 US6713743B2|2004-03-30|Fabry-perot resonator and system for measuring and calibrating displacement of a cantilever tip using the same in atomic force microscope JP4916573B2|2012-04-11|光干渉計測方法および光干渉計測装置 RU2363019C2|2009-07-27|Способ и устройство для исследования поверхностных вибраций посредством перемещающегося спекл-интерферометра US20020180956A1|2002-12-05|Optical sensor for distance measurement EP0415579A1|1991-03-06|Touch probe JP5147368B2|2013-02-20|エンコーダ JP2006220655A|2006-08-24|位置測定装置 CN102128591B|2015-11-25|位置测量装置 JP6126375B2|2017-05-10|クロマティックポイントセンサシステムの動作方法 US4744661A|1988-05-17|Device for measuring small distances JP4266834B2|2009-05-20|光学エンコーダ US7480061B2|2009-01-20|3D shape measurement apparatus and method using stereo moiré technique DE10260256A1|2004-07-15|Interferometersystem und Meß-/Bearbeitungswerkzeug US9829306B2|2017-11-28|Absolute distance laser interferometer JP3460074B2|2003-10-27|電子レベルの水平位誤差補正機構 US6933490B1|2005-08-23|Method and device for fiber-optical measuring systems
同族专利:
公开号 | 公开日 US7525670B1|2009-04-28| EP2260324B1|2011-10-19| CN101981468B|2013-03-27| AT529762T|2011-11-15| EP2260324A1|2010-12-15| WO2009123676A1|2009-10-08| CN101981468A|2011-02-23|
引用文献:
公开号 | 申请日 | 公开日 | 申请人 | 专利标题
法律状态:
优先权:
[返回顶部]
申请号 | 申请日 | 专利标题 相关专利
Sulfonates, polymers, resist compositions and patterning process
Washing machine
Washing machine
Device for fixture finishing and tension adjusting of membrane
Structure for Equipping Band in a Plane Cathode Ray Tube
Process for preparation of 7 alpha-carboxyl 9, 11-epoxy steroids and intermediates useful therein an
国家/地区
|